Výsledky vyhledávání
- 1.0486980 - FZÚ 2018 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Čada, Martin - Lundin, D. - Hubička, Zdeněk
Measurement and modeling of plasma parameters in reactive high-power impulse magnetron sputtering of Ti in Ar/O2 mixtures.
Journal of Applied Physics. Roč. 121, č. 17 (2017), s. 1-7, č. článku 171913. ISSN 0021-8979. E-ISSN 1089-7550
Grant CEP: GA ČR(CZ) GA15-00863S
GRANT EU: European Commission(XE) 608800 - HIPPOCAMP
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: reactive sputtering * HiPIMS * Langmuir probe * R-IRM model * plasma density * electron temperature
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Impakt faktor: 2.176, rok: 2017
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0281686 - 2.0470666 - FZÚ 2017 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Lundin, D. - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk
Time-resolved ion flux and impedance measurements for process characterization in reactive high-power impulse magnetron sputtering.
Journal of Vacuum Science & Technology A : Vacuum, Surfaces and Films. Roč. 34, č. 4 (2016), 1-10, č. článku 041305. ISSN 0734-2101. E-ISSN 1520-8559
Grant CEP: GA ČR(CZ) GA15-00863S
GRANT EU: European Commission(XE) 608800 - HIPPOCAMP
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: radiofrequency current * voltage measurements * energy-distributions * sheath voltages * deposition * density * hysteresis * discharges * films * technology
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Impakt faktor: 1.374, rok: 2016
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0268241 - 3.0458886 - FZÚ 2017 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Fu, Q. - Lorite, G.S. - Rashid, M.M.U. - Neuhaus, G. - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Pitkänen, O. - Selkälä, T. - Uusitalo, J. - Glanz, C. - Kolaric, I. - Kordas, G. - Nicolescu, C.M. - Toth, G.
High dynamic stiffness mechanical structures with nanostructured composite coatings deposited by high power impulse magnetron sputtering.
Carbon. Roč. 98, Mar (2016), 24-33. ISSN 0008-6223. E-ISSN 1873-3891
GRANT EU: European Commission(XE) 608800 - HIPPOCAMP
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: stiffness * HiPIMS * CuCN * loss modulus
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Impakt faktor: 6.337, rok: 2016
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0259106 - 4.0449520 - FZÚ 2016 RIV GB eng J - Článek v odborném periodiku
Lundin, D. - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk
Ionization of sputtered Ti, Al, and C coupled with plasma characterization in HiPIMS.
Plasma Sources Science & Technology. Roč. 24, č. 3 (2015), s. 035018. ISSN 0963-0252. E-ISSN 1361-6595
Grant CEP: GA MŠMT LH12043
GRANT EU: European Commission(XE) 608800 - HIPPOCAMP
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: IPVD * HiPIMS * HPPMS * Langmuir probe * ion meter
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Impakt faktor: 2.808, rok: 2015
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0251068