Výsledky vyhledávání
- 1.0476976 - FZÚ 2017 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Rus, Bedřich - Bakule, Pavel - Reyné, S. - Giambruno, F. - Nejdl, Jaroslav
Laserová litografie.
[Vacuum chamber suitable for Laser Printing.]
Interní kód: AV15007 ; 2015
Technické parametry: Parametry čerpání: flow of ~ 1600 l/s with a DN250 (for VC1, VC3 and VC4) and one with a flow of ~ 3200 l/s with a DN320 (for VC2) from Oerlikon Leybold.
Ekonomické parametry: Funkční vzorek je v současné době využíván příjemcem. Pořizovací hodnota je cca. 50 000,- Kč bez DPH. Hlavním ekonomickým přínosem je nízká pořizovací cena díky optimalizaci tohoto funkčního vzorku.
Grant CEP: GA MŠMT ED1.1.00/02.0061
Grant ostatní: ELI Beamlines(XE) CZ.1.05/1.1.00/02.0061
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: laser cutting * patterning * litography
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0273377