Výsledky vyhledávání
- 1.0564978 - FZÚ 2023 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Zehetner, J. - Vanko, G. - Izsák, T. - Kováčová, E. - Držík, M. - Dohnal, F. - Kromka, Alexander
Diamond cantilevers for MEMS sensor applications fabricated by laser ablation and optimized etching techniques.
Proceedings of the 14th International Conference on Advanced Semiconductor Devices And Microsystems. New York: IEEE, 2022 - (Marek, J.; Donoval, D.; Vavrinsky, E.), s. 195-198. ISBN 978-1-6654-6977-7.
[International Conference on Advanced Semiconductor Devices And Microsystems - (ASDAM) /14./. Smolenice (SK), 23.10.2022-26.10.2022]
Grant CEP: GA MŠMT(CZ) 8X20035
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: laser processing * MEMS * cantilevers * diamond
Obor OECD: Mechanical engineering
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0336554 - 2.0559035 - FZÚ 2023 RIV SK eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Zehetner, J. - Vanko, G. - Dohnal, F. - Izsák, T. - Držík, M. - Kromka, Alexander
Recent challenges in micromachining of wide-bandgap materials and fabrication of MEMS for harsh environments.
Proceedings of ADEPT - ADEPT 2022. Žilina: University of Žilina, 2022 - (Feiler, M.; Ziman, M.; Kováčová, S.; Kováč, jr., J.), s. 7-12. ISBN 978-80-554-1884-1.
[10th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies - ADEPT 2022. Tatranská Lomnica (SK), 20.06.2022-24.06.2022]
Grant CEP: GA MŠMT(CZ) 8X20035
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: harsh environment * diamond * SiC * MEMS * HEMT * laser ablation
Obor OECD: Materials engineering
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0332450 - 3.0540753 - FZÚ 2021 RIV CH eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Izsák, Tibor - Vanko, G. - Držík, M. - Kasemann, S. - Zehetner, J. - Vojs, M. - Zaťko, B. - Potocký, Štěpán - Kromka, Alexander
Direct deposition of CVD diamond layers on the top of GaN membranes.
Proceedings of 4th International Conference nanoFIS 2020 - Functional Integrated nanoSystems. Basel: MDPI, 2020 - (Köck, A.; Deluca, M.), s. 1-3, č. článku 35. E-ISSN 2504-3900.
[International Conference on Functional Integrated nano Systems (nanoFIS 2020) /4./. Online (AT), 02.11.2020-04.11.2020]
Grant CEP: GA MŠMT LM2018110; GA MŠMT(CZ) 8X20035; GA MŠMT(CZ) EF16_019/0000760
Grant ostatní: OP VVV - SOLID21(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: diamond * GaN * CVD * stress
Obor OECD: Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0318358 - 4.0540751 - FZÚ 2021 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Izsák, Tibor - Vanko, G. - Držík, M. - Kasemann, S. - Zehetner, J. - Vojs, M. - Zaťko, B. - Potocký, Štěpán - Kromka, Alexander
Front-side diamond deposition on the GaN membranes.
Proceedings of the 13th International Conference on Advanced Semiconductor Devices And Microsystems. New York: IEEE, 2020 - (Vanko, G.; Izsák, T.), s. 42-45. ISBN 978-1-7281-9776-0.
[International Conference on Advanced Semiconductor Devices And Microsystems - (ASDAM) /13./. Smolenice (SK), 11.10.2020-14.10.2020]
Grant CEP: GA MŠMT LM2018110; GA MŠMT(CZ) 8X20035; GA MŠMT(CZ) EF16_019/0000760
Grant ostatní: OP VVV - SOLID21(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: diamond * GaN * CVD * stress
Obor OECD: Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0318357