Výsledky vyhledávání

  1. 1.
    0449867 - FZÚ 2016 RIV CZ cze L3 - Certifikované metodiky
    Jirásek, Vít - Potocký, Štěpán - Sveshnikov, Alexey
    Obecná metodika modelování vysokoteplotních technologických procesů metodou konečných prvků.
    [General methodology for high temperature processes of semiconductor technology by the finite element methods.]
    Interní kód: CM 2014-04 ; 2014
    Technické parametry: Metodika umožňuje výrazně snížit počet ladících procesů při zprovozňování nových pecí u zákazníků. Umožňuje mnohem jednodušší nastavení procesních parametrů pro výrobu konkrétních vrstev na Si deskách
    Ekonomické parametry: Díky této metodice dojde ke snížení náročnosti uvádění nových pecí do provozu, čímž dojde k redukci ceny těchto prací až o 3%.
    Certifikační orgán: SVCS Process Innovation s.r.o., Optátova 37, Brno 637 00, Česká republika. Datum certifikace: 19.12.2014
    Grant CEP: GA TA ČR TA01020972
    Institucionální podpora: RVO:68378271
    Klíčová slova: CFD modelling * high temperature reactor * high temperature oxidation * phosphorus diffusion * boron diffusion * LPCVD * PECVD
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0251280