Výsledky vyhledávání
- 1.0359628 - FZÚ 2012 CZ eng A - Abstrakt
Ižák, Tibor - Kromka, Alexander - Babchenko, Oleg - Ledinský, Martin - Hruška, Karel - Verveniotis, Elisseos
Comparative study on dry etching of polycrystalline diamond thin films in different plasma systems.
13th Joint Vacuum Conference - Programme and book of abstract. Brno: Tribun EU s.r.o., 2010 - (Vesely, M.; Vincze, A.; Vavra, I.). s. 73. ISBN 978-80-7399-969-8.
[Joint Vacuum Conference /13./. 20.06.2010-24.06.2010, Strbske Pleso]
Grant CEP: GA AV ČR KAN400100701; GA AV ČR(CZ) IAAX00100902; GA MŠMT LC510; GA AV ČR(CZ) KAN400480701; GA AV ČR KAN400100652
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100521
Klíčová slova: polycrystalline diamond * capacitively coupled plasma * reactive ion etching * nanostructuring
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0197378