Výsledky vyhledávání

  1. 1.
    0559083 - ÚPT 2023 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
    Krátký, Stanislav - Venos, Š. - Kolařík, Vladimír - Pokorný, Pavel - Úlehla, L.
    Příprava DOE generujících korigovaný gaussovský svazek pro aplikace s vysoce výkonnými lasery.
    [The fabrication of DOE for Gaussian beam adjustment in the field of high power lasers.]
    Jemná mechanika a optika. Roč. 67, č. 6 (2022), s. 138-141. ISSN 0447-6441
    Grant CEP: GA MPO(CZ) FV40197
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: diffractive optical element * grayscale e-beam lithography * glass etching * Gaussian beam * laser beam machining
    Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
    Způsob publikování: Omezený přístup
    https://jmo.fzu.cz/sites/jmo.fzu.cz/files/oldweb/2022/2022-06/jmo_22_06_obsah.pdf
    Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0332543
     
     
  2. 2.
    0535207 - ÚPT 2021 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
    Knápek, Alexandr - Horáček, Miroslav - Krátký, Stanislav - Matějka, Milan - Brunn, Ondřej - Burda, Daniel - Kolařík, Vladimír
    Vlastnosti kvaziperiodických spirálových mikrostruktur.
    [Properties of quasiperiodic spiral microstrictures.]
    Jemná mechanika a optika. Roč. 65, č. 6 (2020), s. 175-178. ISSN 0447-6441
    Grant CEP: GA MV(CZ) VI20192022147
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: planar phyllotactit model * electron beam lithography * diffractive optically variable image device
    Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
    Způsob publikování: Omezený přístup
    https://jmo.fzu.cz/sites/jmo.fzu.cz/files/oldweb/2020/2020-06/jmo_20_06_obsah.pdf
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0313290
     
     
  3. 3.
    0532029 - ÚPT 2021 RIV JO eng J - Článek v odborném periodiku
    Knápek, Alexandr - Drozd, Michal - Matějka, Milan - Chlumská, Jana - Král, Stanislav - Kolařík, Vladimír
    Automated System for Optical Inspection of Defects in Resist-coated Non-patterned Wafer.
    Jordan Journal of Physics. Roč. 13, č. 2 (2020), s. 93-100. ISSN 1994-7607. E-ISSN 1994-7615
    Grant CEP: GA MPO FV10618
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: optical inspection * resist layer * non-patterned wafer * quality control
    Obor OECD: Automation and control systems
    Způsob publikování: Open access
    http://journals.yu.edu.jo/jjp/JJPIssues/Vol13No2pdf2020/1.html
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0310631
     
     
  4. 4.
    0525191 - ÚPT 2021 RIV SK eng J - Článek v odborném periodiku
    Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Řiháček, Tomáš - Knápek, Alexandr - Kolařík, Vladimír
    Functional nano-structuring of thin silicon nitride membranes.
    Journal of Electrical Engineering - Elektrotechnický časopis. Roč. 71, č. 2 (2020), s. 127-130. ISSN 1335-3632. E-ISSN 1339-309X
    Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TN01000008; GA MŠk ED0017/01/01
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: membrane * nano optical device * electron optics * electron beam lithography * silicon nitride * reactive ion etching * silicon etching * microfabrication
    Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
    Impakt faktor: 0.647, rok: 2020
    Způsob publikování: Open access
    https://content.sciendo.com/view/journals/jee/71/2/article-p127.xml
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0309382
     
     
  5. 5.
    0517570 - ÚPT 2020 RIV CH eng J - Článek v odborném periodiku
    Knápek, Alexandr - Sobola, D. - Burda, Daniel - Daňhel, Aleš - Mousa, M. - Kolařík, Vladimír
    Polymer Graphite Pencil Lead as a Cheap Alternative for Classic Conductive SPM Probes.
    Nanomaterials. Roč. 9, č. 12 (2019), č. článku 1756. E-ISSN 2079-4991
    Grant CEP: GA MPO FV10618
    Institucionální podpora: RVO:68081731 ; RVO:68081707
    Klíčová slova: scanning tunneling microscopy * sharp tip formation * graphite
    Obor OECD: Nano-materials (production and properties); Nano-materials (production and properties) (BFU-R)
    Impakt faktor: 4.324, rok: 2019
    Způsob publikování: Open access
    https://www.mdpi.com/2079-4991/9/12/1756/htm
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0302907
     
     
  6. 6.
    0501458 - ÚPT 2020 RIV SK eng J - Článek v odborném periodiku
    Kolařík, Vladimír - Horáček, Miroslav - Knápek, Alexandr - Krátký, Stanislav - Matějka, Milan - Meluzín, Petr
    Spiral arrangement: From nanostructures to packaging.
    Journal of Electrical Engineering - Elektrotechnický časopis. Roč. 70, č. 1 (2019), s. 74-77. ISSN 1335-3632. E-ISSN 1339-309X
    Grant CEP: GA MPO FV10618; GA TA ČR TG03010046; GA TA ČR TE01020233; GA MŠk(CZ) LO1212; GA MŠk ED0017/01/01
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: electron beam lithography * phyllotaxis * spiral arrangement * parastichy
    Obor OECD: Electrical and electronic engineering
    Impakt faktor: 0.686, rok: 2019
    Způsob publikování: Open access
    https://content.sciendo.com/view/journals/jee/70/1/article-p74.xml?lang=en
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0293484
     
     
  7. 7.
    0477782 - ÚPT 2018 RIV NL eng J - Článek v odborném periodiku
    Krátký, Stanislav - Kolařík, Vladimír - Horáček, Miroslav - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
    Combined e-beam lithography using different energies.
    Microelectronic Engineering. Roč. 177, JUN (2017), s. 30-34. ISSN 0167-9317. E-ISSN 1873-5568
    Grant CEP: GA TA ČR TE01020233; GA MŠk(CZ) LO1212; GA MŠk ED0017/01/01
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: grayscale e-beam lithography * mix and match process * absorbed energy density * resist sensitivity * micro-optical elements
    Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
    Impakt faktor: 2.020, rok: 2017
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0274006
     
     
  8. 8.
    0454665 - ÚPT 2016 RIV NL eng J - Článek v odborném periodiku
    Bok, Jan - Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Urbánek, Michal - Matějka, Milan - Krzyžánek, Vladislav
    Measurements of current density distribution in shaped e-beam writers.
    Microelectronic Engineering. Roč. 149, JAN 5 (2016), s. 117-124. ISSN 0167-9317. E-ISSN 1873-5568
    Grant CEP: GA ČR(CZ) GA14-20012S; GA MŠk(CZ) LO1212; GA MŠk ED0017/01/01
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: shaped e-beam writer * electron beam * current density
    Kód oboru RIV: JB - Senzory, čidla, měření a regulace
    Impakt faktor: 1.806, rok: 2016
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0255378
     
     
  9. 9.
    0452395 - ÚPT 2016 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
    Krátký, Stanislav - Urbánek, Michal - Chlumská, Jana - Matějka, Milan - Meluzín, Petr - Kolařík, Vladimír - Horáček, Miroslav
    Kombinace elektronové litografie s gaussovským svazkem a s proměnným tvarovaným svazkem.
    [Combination of electron lithography with Gaussian and shaped beams.]
    Jemná mechanika a optika. Roč. 60, č. 1 (2015), s. 10-13. ISSN 0447-6441
    Grant CEP: GA MŠk(CZ) LO1212
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: e-beam writer * Gausssian beam * variable shaped beam
    Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0253409
     
     
  10. 10.
    0451587 - ÚPT 2016 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
    Krátký, Stanislav - Urbánek, Michal - Kolařík, Vladimír
    PEC Reliability in 3D E-beam DOE Nanopatterning.
    Microscopy and Microanalysis. Roč. 21, S4 (2015), s. 230-235. ISSN 1431-9276. E-ISSN 1435-8115
    Grant CEP: GA MŠk(CZ) LO1212
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: proximity effect correction * diffractive optical elements
    Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    Impakt faktor: 1.730, rok: 2015
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0252722