Výsledky vyhledávání
- 1.0520342 - FZÚ 2021 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Olejníček, Jiří - Kšírová, Petra - Tvarog, Drahoslav - Houha, R. - Matulová, L.
Realizace nového optického tenkovrstvého ochranného prvku.
[Implementation of new optical thin film protection element.]
Praha: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 2019. 14 s.
Grant CEP: GA MPO FV20580
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: optical thin film * sputtering * semiconductor * impedance
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0305029 - 2.0500945 - FZÚ 2021 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Olejníček, Jiří - Kšírová, Petra - Tvarog, Drahoslav
Hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozicioptických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů.
[Hybrid reactive HiPIMS deposition system for the deposition of functional metal oxide thin films.]
Praha: IQ structures, 2018. 11 s.
Grant CEP: GA MPO FV20580
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: plasma * discharge * thin film * HiPIMS
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0293030