Výsledky vyhledávání
- 1.0185751 - UJF-V 20033067 RIV CH eng J - Článek v odborném periodiku
Benedikt, J. - Woen, RV. - van Mensfoort, SLM. - Peřina, Vratislav - Hong, J. - van de Sanden, MCM.
Plasma chemistry during the deposition of a-C : H films and its influence on film properties.
Diamond and Related Materials. Roč. 12, č. 2 (2003), s. 90-97. ISSN 0925-9635. E-ISSN 1879-0062
Grant CEP: GA AV ČR KSK4055109; GA ČR GA104/03/0385
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1048901
Klíčová slova: plasma chemistry * spectroscopic ellipsometry
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Impakt faktor: 1.867, rok: 2003
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0082128