Výsledky vyhledávání
- 1.0517208 - ÚPT 2020 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Krátký, Stanislav - Matějka, Milan - Chlumská, Jana - Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
SMV-2019-03: Tenké membrány.
[SMV-2019-03: Thin membranes.]
Brno: FEI Czech Republic, 2019. 5 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: e-beam lithography * wet etching * plasma etching * reactive ion etching
Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0302493 - 2.0499163 - ÚPT 2019 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Radlička, Tomáš
SMV-2018-21: Výpočet optiky XPS zdroje.
[SMV-2018-21: Calculation of electron optical properties of XPS source.]
Brno: FEI CZECH REPUBLIC, 2018. 5 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: thermoemionic electron gun * space-charge * electron optics
Obor OECD: Communication engineering and systems
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0291422 - 3.0499162 - ÚPT 2019 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Radlička, Tomáš
SMV-2018-20: Elektronově optické vlatnosti multi-svazkového zdroje elektronů.
[SMV-2018-20: Electron optical propertis of the multibeam electron source.]
Brno: FEI CZECH REPUBLIC, 2018. 5 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: electron source * multi-beam SEM
Obor OECD: Electrical and electronic engineering
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0291421 - 4.0468459 - ÚPT 2017 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Radlička, Tomáš - Oral, Martin - Rozbořil, Jakub
SMV-2016-20: Výpočty detekčních systémů rastrovacích elektronových mikroskopů.
[SMV-2016-20: Simulation of detection systems of scanning electron microscopes.]
Brno: FEI Czech Republic, s.r.o., 2016. 10 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: electron optics * electron microscopy * contrast optimization
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0266308 - 5.0452888 - ÚPT 2016 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Radlička, Tomáš
SMV-2015-20: Analýza detekčních mechanizmů mikroskopu Teneo.
[SMV-2015-20: Detection mechanism analysis in Teneo microscope.]
Brno: FEI Czech Republic, s. r. o, 2015. 4 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: electron optics * detectors * Monte-Carlo simulations
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0253809 - 6.0426229 - ÚPT 2014 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Urbánek, Michal - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Horáček, Miroslav - Král, Stanislav
SMV-2012-01: Testovací preparát pro SEM.
[Testing specimens for SEM.]
Brno: FEI Czech Republic s.r.o, 2012. 5 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: dimensional standard * e-beam lithography * e-beam microscopy * anisotropic Silicon etching
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0231968