Výsledky vyhledávání
- 1.0573816 - FZÚ 2024 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Vanda, Jan - Mydlář, Martin
Vzorek skleněného substrátu se strukturou fázových změn vytvořenou pomocí vlnové délky 515 nm.
[Glass substrate sample with phase modifications structure formed by wavelength 515 nm.]
Interní kód: TM01000021-V5 ; 2022
Technické parametry: Na substrátu D263 o tloušťce 0,1 mm jsou pomocí několika paralelních Besselovských svazků vytvořeny krátery na přední i zadní straně, mezi kterými se nachází masa fázově změněného materiálu s mikrokanálky vytvořenými díky nelineárním jevům vznikajícím při průchodu ultrakrátkých laserových pulzů s vysokou fluencí. Procesní rychlost je > 10 000 kráterů za vteřinu, fluence ve svazku > 8 Jcm-2 na vlnové délce 515 nm, poziční odchylka kráterů < 10% průměru.
Ekonomické parametry: Výsledek slouží ověření funkčnosti technologie mnohosvazkového zpracování dielektrických materiálů Besselovským svazkem a bude využit pro další rozvoj této technologie. Díky provedené modifikaci je možné krátery vyleptat a vytvořit tzv. TGVs (thru-glass-vias), díky čemuž lze takový substrát použít jako hostovací materiál pro vysokofrekvenční mikroelektroniku. Protože Fyzikální ústav nemá jako svoji hlavní činnost výrobu v oblasti mikroelektroniky, bude hledat vhodného průmyslového partnera pro další rozvoj této technologie.
Grant CEP: GA TA ČR TM01000021
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: TGV * LIDT * DPSSL * laser damage * LIDE * ultra-short pulses
Obor OECD: Materials engineering
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0344172 - 2.0573812 - FZÚ 2024 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Vanda, Jan - Mydlář, Martin
Vzorek skleněného substrátu se strukturou fázových změn vytvořenou pomocí vlnové délky 1030 nm.
[Glass substrate sample with phase modifications structure formed by wavelength 1030 nm.]
Interní kód: TM01000021-V4 ; 2022
Technické parametry: Na substrátu D263 o tloušťce 0,1 mm jsou pomocí několika paralelních Besselovských svazků vytvořeny krátery na přední i zadní straně, mezi kterými se nachází masa fázově změněného materiálu s mikrokanálky vytvořenými díky nelineárním jevům vznikajícím při průchodu ultrakrátkých laserových pulzů s vysokou fluencí. Procesní rychlost je > 10 000 kráterů za vteřinu, fluence ve svazku > 6 Jcm-2 na vlnové délce 1030 nm, poziční odchylka kráterů < 10% průměru.
Ekonomické parametry: Výsledek slouží ověření funkčnosti technologie mnohosvazkového zpracování dielektrických materiálů Besselovským svazkem a bude využit pro další rozvoj této technologie. Díky provedené modifikaci je možné krátery vyleptat a vytvořit tzv. TGVs (thru-glass-vias), díky čemuž lze takový substrát použít jako hostovací materiál pro vysokofrekvenční mikroelektroniku. Protože Fyzikální ústav nemá jako svoji hlavní činnost výrobu v oblasti mikroelektroniky, bude hledat vhodného průmyslového partnera pro další rozvoj této technologie.
Grant CEP: GA TA ČR TM01000021
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: TGV * LIDT * DPSSL * laser damage * LIDE * ultra-short pulses
Obor OECD: Materials engineering
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0344170 - 3.0573808 - FZÚ 2024 RIV CZ cze Z - Poloprovoz, ověřená technologie, odrůda/plemeno
Vanda, Jan - Stoklasa, B. - Ahn, S. - Ryu, S.G.
Technologie multi-beam B-TGV.
[Multi-beam B-TGV technology.]
Interní kód: TM01000021-V1 ; 2022
Technické parametry: Popisovanou technologii tvoří následující sled procesních kroků: Ozáření skleněného vzorku jedním krátkým pulsem o vysoké energii na vlnové délce 1030 nm nebo 515 nm, nad prahovou hodnotou procesu daného materiálu. Využití mnohasvazkové procesní optiky pro dosažení požadované procesní rychlosti a optimálního tvaru a rozložení laserových svazků. Synchronizace pulsů laseru s pohybem substrátu ve vysoké rychlosti podle opakovací frekvence laseru. Leptání (wet etching) modifikovaných skleněných vzorků k vytvoření TGV (Thru Glass Vias).
Ekonomické parametry: Výsledek slouží ověření funkčnosti technologie mnohosvazkového zpracování dielektrických materiálů Besselovským svazkem a bude využit pro další rozvoj této technologie. Díky provedené modifikaci je možné krátery vyleptat a vytvořit tzv. TGVs (thru-glass-vias), díky čemuž lze takový substrát použít jako hostovací materiál pro vysokofrekvenční mikroelektroniku. Protože Fyzikální ústav nemá jako svoji hlavní činnost výrobu v oblasti mikroelektroniky, bude hledat vhodného průmyslového partnera pro další rozvoj této technologie.
Grant CEP: GA TA ČR TM01000021
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: TGV * LIDT * DPSSL * laser damage * LIDE * ultra-short pulses
Obor OECD: Materials engineering
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0344167 - 4.0569382 - FZÚ 2023 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Vanda, Jan - Mydlář, Martin - Pilná, Kateřina - Turčičová, Hana - Pobořil, Radek - Brajer, Jan - Mocek, Tomáš - Stoklasa, B. - Venos, Š.
LIDT testing as a tool for optimization of processing window for D263 glass sheet TGV treatment.
Laser-Induced Damage in Optical Materials 2022. Bellingham: SPIE, 2022 - (Carr, C.; Ristau, D.; Menoni, C.), č. článku 1230003. ISBN 978-1-5106-5662-8. ISSN 0277-786X.
[SPIE Laser Damage 2022. New York (US), 18.09.2022-22.09.2022]
Grant CEP: GA MŠMT LO1602; GA TA ČR TM01000021; GA MŠMT LM2015086; GA MŠMT EF15_006/0000674
GRANT EU: European Commission(XE) 739573 - HiLASE CoE
Grant ostatní: OP VVV - HiLASE-CoE(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/15_006/0000674
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: TGV * LIDT * DPSSL * laser * ultra-short pulses
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/12300/2642866/LIDT-testing-as-a-tool-for-optimization-of-processing-window/10.1117/12.2642866.short?SSO=1
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0340814 - 5.0552156 - FZÚ 2022 RIV BD eng J - Článek v odborném periodiku
Hrdý, Jaromír
Reducing the short pulses stretching caused by lenses.
International Journal of Physics and Applications. Roč. 3, č. 2 (2021), s. 4-7. ISSN 2664-7575. E-ISSN 2664-7583
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: short laser pulses * short x-ray pulses * lenses for short pulses * double lens system * FEL
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
Způsob publikování: Omezený přístup
https://www.physicsjournal.in/article/view/41/3-2-13
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0327386 - 6.0503532 - ÚFP 2019 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Vyšín, L. - Burian, Tomáš - Ukrajintsev, E. - Davídková, M. - Grisham, M. E. - Heinbuch, S. - Rocca, J.J. - Juha, Libor
Dose-rate effects in breaking DNA strands by short pulses of extreme ultraviolet radiation.
Radiation Research. Roč. 189, č. 5 (2018), s. 466-476. ISSN 0033-7587. E-ISSN 1938-5404
GRANT EU: European Commission(XE) 654148 - LASERLAB-EUROPE
Institucionální podpora: RVO:61389021
Klíčová slova: breaking DNA strands * extreme ultraviolet radiation * short pulses
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
Impakt faktor: 2.779, rok: 2018
https://bioone.org/journals/Radiation-Research/volume-190/issue-2/RR00LV.1/Erratum/10.1667/RR00LV.1.short
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0295350 - 7.0496971 - FZÚ 2019 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Vyšín, Luděk - Burian, Tomáš - Ukraintsev, Egor - Davídková, Marie - Grisham, M. E. - Heinbuch, S. - Rocca, J.J. - Juha, Libor
Dose-Rate effects in breaking DNA strands by short pulses of extreme ultraviolet radiation.
Radiation Research. Roč. 189, č. 5 (2018), s. 466-476. ISSN 0033-7587. E-ISSN 1938-5404
Grant CEP: GA ČR GA13-28721S
GRANT EU: European Commission(XE) 654148 - LASERLAB-EUROPE
Institucionální podpora: RVO:68378271 ; RVO:61389005
Klíčová slova: breaking DNA strands * short pulses * extreme ultraviolet radiation
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics); Nuclear physics (UJF-V)
Impakt faktor: 2.779, rok: 2018
Způsob publikování: Omezený přístup
https://doi.org/10.1667/RR14825.1
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0289592