Výsledky vyhledávání
- 1.0449867 - FZÚ 2016 RIV CZ cze L3 - Certifikované metodiky
Jirásek, Vít - Potocký, Štěpán - Sveshnikov, Alexey
Obecná metodika modelování vysokoteplotních technologických procesů metodou konečných prvků.
[General methodology for high temperature processes of semiconductor technology by the finite element methods.]
Interní kód: CM 2014-04 ; 2014
Technické parametry: Metodika umožňuje výrazně snížit počet ladících procesů při zprovozňování nových pecí u zákazníků. Umožňuje mnohem jednodušší nastavení procesních parametrů pro výrobu konkrétních vrstev na Si deskách
Ekonomické parametry: Díky této metodice dojde ke snížení náročnosti uvádění nových pecí do provozu, čímž dojde k redukci ceny těchto prací až o 3%.
Certifikační orgán: SVCS Process Innovation s.r.o., Optátova 37, Brno 637 00, Česká republika. Datum certifikace: 19.12.2014
Grant CEP: GA TA ČR TA01020972
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: CFD modelling * high temperature reactor * high temperature oxidation * phosphorus diffusion * boron diffusion * LPCVD * PECVD
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0251280 - 2.0177739 - UFM-A 20013329 RIV SIGLE DE ger C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Stloukal, Ivo - Herzig, Chr.
Korngrenzendiffusion und Segregation von Phosphor in einer Fe-2,2 Gew.
[Grain Boundary Diffusion and Segregation of Phosphorus in Fe-2.2 wt.]
Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft. Weinheim: PhysikVerlag GmbH, 2002, s. 278. Physik der Hadronen und Kerne. ISSN 0420-0195.
[Frühjahrstagung des Arbeitkreises Festkörperphysik bei der DPG. Regensburg (DE), 11.03.2002-15.03.2002]
Grant CEP: GA ČR GA106/01/0384
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z2041904
Klíčová slova: phosphorus diffusion * segregation * Fe-Si alloy
Kód oboru RIV: BJ - Termodynamika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0074654 - 3.0177737 - UFM-A 20013326 RIV DE eng J - Článek v odborném periodiku
Stloukal, Ivo - Herzig, Ch.
Phosphorus grain boundary diffusion and segregation in Fe-2.2 wt.
Zeitschrift für Metallkunde. Roč. 93, č. 2 (2002), s. 88-94. ISSN 0044-3093
Grant CEP: GA ČR GA106/01/0384
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z2041904
Klíčová slova: phosphorus diffusion * alpha Fe(Si) alloy * segregation
Kód oboru RIV: BJ - Termodynamika
Impakt faktor: 0.636, rok: 2002
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0074652