Výsledky vyhledávání
Váš dotaz:
Předmět (klíč.slova) = "high power impulse magnetron sputtering HiPIMS"
- 1.0519372 - FZÚ 2020 RIV CH eng J - Článek v odborném periodiku
Hajihoseini, H. - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Ünaldi, S. - Raadu, M.A. - Brenning, N. - Gudmundsson, J.T. - Lundin, D.
The effect of magnetic field strength and geometry on the deposition rate and ionized flux fraction in the HiPIMS discharge.
Plasma. Roč. 2, č. 2 (2019), s. 201-221. E-ISSN 2571-6182
Grant CEP: GA MŠMT(CZ) EF16_019/0000760; GA ČR GA19-00579S
Grant ostatní: OP VVV - SOLID21(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: ionized physical vapor deposition * magnetron sputtering * high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) * ionized flux fraction * deposition rate
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Způsob publikování: Open access
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0304364Název souboru Staženo Velikost Komentář Verze Přístup 0519372.pdf 0 1.2 MB CC licence Vydavatelský postprint povolen - 2.0489691 - FZÚ 2019 RIV GB eng J - Článek v odborném periodiku
Straňák, V. - Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Bogdanowicz, R. - Wulff, H. - Helm, C.A. - Hippler, R.
Influence of reactive oxygen species during deposition of iron oxide films by high power impulse magnetron sputtering.
Journal of Physics D-Applied Physics. Roč. 51, č. 9 (2018), s. 1-12, č. článku 095205. ISSN 0022-3727. E-ISSN 1361-6463
Grant CEP: GA ČR GA17-08389S
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) * iron oxide thin films * wüstite * magnetite * maghemite * hematite
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Impakt faktor: 2.829, rok: 2018
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0284063