Výsledky vyhledávání
- 1.0370933 - ÚPT 2012 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
Kolařík, Vladimír - Matějka, František - Horáček, Miroslav - Matějka, Milan - Urbánek, Michal
Nanolitografie a kompenzace magnetického pole v prostředí s průmyslovým rušením.
[Nanolithography and Magnetic Field Cancellation in the Industrial Area.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 56, 11-12 (2011), s. 312-316. ISSN 0447-6441
Grant CEP: GA MŠMT ED0017/01/01; GA MPO FR-TI1/576
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: E-beam writer with a shaped beam * magnetic field cancelling system * electron optics column * nanolithography * nanotechnology
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0204605 - 2.0314356 - ÚPT 2009 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
Kolařík, Vladimír - Matějka, František - Lencová, Bohumila - Kokrhel, Svatopluk - Horáček, Miroslav - Radlička, Tomáš - Urbánek, Michal - Daněk, Lukáš
Zápis tvarovaným elektronovým svazkem.
[Writing System with Shaped Electron Beam.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 53, č. 1 (2008), s. 11-16. ISSN 0447-6441
Grant CEP: GA ČR GA102/05/2325
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: e-beam writing system * shaped electron beam * electron optics column * electron scattering * writing speed
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0164886