Výsledky vyhledávání

  1. 1.
    0370933 - ÚPT 2012 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
    Kolařík, Vladimír - Matějka, František - Horáček, Miroslav - Matějka, Milan - Urbánek, Michal
    Nanolitografie a kompenzace magnetického pole v prostředí s průmyslovým rušením.
    [Nanolithography and Magnetic Field Cancellation in the Industrial Area.]
    Jemná mechanika a optika. Roč. 56, 11-12 (2011), s. 312-316. ISSN 0447-6441
    Grant CEP: GA MŠMT ED0017/01/01; GA MPO FR-TI1/576
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
    Klíčová slova: E-beam writer with a shaped beam * magnetic field cancelling system * electron optics column * nanolithography * nanotechnology
    Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0204605
     
     
  2. 2.
    0314356 - ÚPT 2009 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
    Kolařík, Vladimír - Matějka, František - Lencová, Bohumila - Kokrhel, Svatopluk - Horáček, Miroslav - Radlička, Tomáš - Urbánek, Michal - Daněk, Lukáš
    Zápis tvarovaným elektronovým svazkem.
    [Writing System with Shaped Electron Beam.]
    Jemná mechanika a optika. Roč. 53, č. 1 (2008), s. 11-16. ISSN 0447-6441
    Grant CEP: GA ČR GA102/05/2325
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
    Klíčová slova: e-beam writing system * shaped electron beam * electron optics column * electron scattering * writing speed
    Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0164886
     
     


  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.