Výsledky vyhledávání

0482540 - ÚPT 2018 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Maňka, Tadeáš - Šerý, Mojmír
Interferometrický odměřovací systém pro systém hlubokého reaktivního leptání.
[Interferometric measuring system for deep reactive ion etching system.]
Interní kód: APL-2017-08 ; 2017
Technické parametry: Systém slouží k přesnému měření hloubky leptu v systému hlubokého reaktivního leptání. Je vybaven náhledovým kamerovým systémem umožňující kontrolu procesu výroby mikrostruktur. K odměřování hloubky leptu je použit He-Ne laser o vlnové délce 543 nm. Pro detekci signálu je použita metoda homodynní detekce. Konstrukce je složena z tříosých kinematických držáků optických komponent (kolimátoru, koutových odražečů, děliče svazku a detekční jednotky). Nastavení opto-mechanických komponent je provedeno kinematickými závěsy s precizním nastavením. Pro minimalizaci teplotní roztažnosti je celá sestava vyrobena z duralové slitiny.
Ekonomické parametry: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Tadeáš Maňka, manka@isibrno.cz
Grant CEP: GA MŠMT(CZ) LO1212
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: DRIE * laser interferometry * Michelson interferometer
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0277967

0434166 - ÚPT 2015 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Šmíd, Radek - Čížek, Martin - Mikel, Břetislav - Lazar, Josef - Číp, Ondřej
Suppression of frequency noise of single mode laser with unbalanced fiber interferometer for subnanometer interferometry.
Optical Micro- and Nanometrology V. (Proceedings of SPIE 9132). Bellingham: SPIE, 2014, 913212:1-11. ISSN 0277-786X.
[Optical Micro- and Nanometrology /5./. Brussels (BE), 15.04.2014-17.04.2014]
Grant CEP: GA ČR(CZ) GPP102/12/P962; GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT EE2.4.31.0016
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: lasers * interferometers * interferometry * laser sources * integrated optics * Michelson interferometer * modulation
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0238302

0388097 - ÚPT 2013 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Číp, Ondřej - Čížek, Martin - Buchta, Zdeněk - Lazar, Josef - Šmíd, Radek
High-resolution detection of small distance changes by an optical frequency comb.
CPS 2012. 18th Czech-Polish-Slovak Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics (Proceedings of SPIE Vol.8697). Bellingham: SPIE, 2012, 86970G:1-7. ISBN 978-0-8194-9481-8.
[CPS 2012. Czech-Polish-Slovak Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics /18./. Ostravice (CZ), 03.09.2012-07.09.2012]
Grant CEP: GA ČR GAP102/10/1813; GA ČR GPP102/11/P819; GA MPO FR-TI2/705; GA TA ČR TA01010995; GA MŠMT EE2.4.31.0016
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: Frequency combs * Frequency converters * Interferometers * Lasers * Michelson interferometer * Mirrors * Optical resonators * Resonators * Teeth * Transducers
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0219189

0205587 - UPT-D 20020137 RIV NL eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Číp, Ondřej - Lazar, Josef - Petrů, František
Frequency method of sub-nanometer distance measurement using the optical resonator and tunable semiconductor laser.
Proceedings of the general assembly of the international union of radio science. Maastricht, 2002, s. -.
[General assembly of the international union of radio science. Maastricht (NL), 17.08.2002-24.08.2002]
Grant CEP: GA AV ČR IBS2065009; GA ČR GP102/02/P122; GA AV ČR IAB2065001; GA ČR GA102/02/1318
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z2065902
Klíčová slova: distance measurement * tunable semiconductor laser * Michelson interferometer
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0101200

0092422 - ÚPT 2008 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Šmíd, Radek - Čížek, Martin - Buchta, Zdeněk - Mikel, Břetislav - Lazar, Josef - Číp, Ondřej
Measurement of index of refraction of air by optical frequency method.
[Měření indexu lomu vzduchu metodou optických frekvencí.]
Optical Measurement Systems for Industrial Inspection V. (Proceedings of SPIE Vol. 6616). Bellingham: SPIE, 2007, 66164C:1-7. ISBN 978-0-8194-6758-4. ISSN 0277-786X.
[Optical Measurement Systems for Industrial Inspection /5./. Mnichov (DE), 18.06.2007-22.06.2007]
Grant CEP: GA MŠMT(CZ) LC06007; GA MPO 2A-1TP1/127; GA MPO FT-TA3/133; GA AV ČR KJB200650503; GA ČR GA102/07/1179
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: index of refraction * optical resonator * Michelson interferometer
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0152749