Vytisknout
0551708 - ÚPT 2022 RIV CZ cze O - Ostatní výsledky
Brunn, Ondřej - Burda, Daniel - Kolařík, Vladimír - Kopal, Jaroslav
Skleněná maska se sub mikronovými otvory.
[Glass mask with sub micron pinholes.]
2021
Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: pinhole * mask * electron lithography
Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0326939
Brunn, Ondřej - Burda, Daniel - Kolařík, Vladimír - Kopal, Jaroslav
Skleněná maska se sub mikronovými otvory.
[Glass mask with sub micron pinholes.]
2021
Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: pinhole * mask * electron lithography
Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0326939