Vytisknout
0497917 - ÚPT 2019 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
SMV-2018-03: Optimalizace přípravy difraktivních optických struktur.
[SMV-2018-03: Optimization of difractive optical elements fabrication.]
Brno: IQ Structures, 2018. 8 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: e-beam lithography * diffractive optical element * atomic force microscopy * scanning electron microscopy
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0290378
Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
SMV-2018-03: Optimalizace přípravy difraktivních optických struktur.
[SMV-2018-03: Optimization of difractive optical elements fabrication.]
Brno: IQ Structures, 2018. 8 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: e-beam lithography * diffractive optical element * atomic force microscopy * scanning electron microscopy
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0290378