Vytisknout
0424549 - FZÚ 2014 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Adámek, Petr - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu.
[An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma.]
Interní kód: IONEU2013 ; 2013
Technické parametry: Vyvinutá aparatura umožňuje měřit tok (depoziční rychlost) neutrálních nebo nabitých částic na substrát. K tomuto účelu je využito QCM čidlo s možností přivedení předpětí opatřené vhodně zvoleným magneickým polem na vstupu QCM čidla
Ekonomické parametry: Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
Grant CEP: GA TA ČR TA01010517
Grant ostatní: AVČR(CZ) M100101215
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: deposition rate * neutral/ion flux ratio * magnetic field * QCM sensor
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0230613
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Adámek, Petr - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu.
[An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma.]
Interní kód: IONEU2013 ; 2013
Technické parametry: Vyvinutá aparatura umožňuje měřit tok (depoziční rychlost) neutrálních nebo nabitých částic na substrát. K tomuto účelu je využito QCM čidlo s možností přivedení předpětí opatřené vhodně zvoleným magneickým polem na vstupu QCM čidla
Ekonomické parametry: Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
Grant CEP: GA TA ČR TA01010517
Grant ostatní: AVČR(CZ) M100101215
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: deposition rate * neutral/ion flux ratio * magnetic field * QCM sensor
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0230613