Vytisknout
0574651 - FZÚ 2024 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Antunes, V.G. - Rudolph, M. - Kapran, Anna - Hajihoseini, H. - Raadu, M.A. - Brenning, N. - Gudmundsson, J.T. - Lundin, D. - Minea, T.
Influence of the magnetic field on the extension of the ionization region in high power impulse magnetron sputtering discharges.
Plasma Sources Science & Technology. Roč. 32, č. 7 (2023), č. článku 075016. ISSN 0963-0252. E-ISSN 1361-6595
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: magnetron sputtering * HiPIMS * ionization region * magnetic field * optical emission spectroscopy
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Impakt faktor: 3.8, rok: 2022
Způsob publikování: Omezený přístup
https://doi.org/10.1088/1361-6595/ace847
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0349495
Antunes, V.G. - Rudolph, M. - Kapran, Anna - Hajihoseini, H. - Raadu, M.A. - Brenning, N. - Gudmundsson, J.T. - Lundin, D. - Minea, T.
Influence of the magnetic field on the extension of the ionization region in high power impulse magnetron sputtering discharges.
Plasma Sources Science & Technology. Roč. 32, č. 7 (2023), č. článku 075016. ISSN 0963-0252. E-ISSN 1361-6595
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: magnetron sputtering * HiPIMS * ionization region * magnetic field * optical emission spectroscopy
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Impakt faktor: 3.8, rok: 2022
Způsob publikování: Omezený přístup
https://doi.org/10.1088/1361-6595/ace847
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0349495