Vytisknout
0452397 - ÚPT 2016 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
Lazar, Josef - Holá, Miroslava - Hrabina, Jan - Oulehla, Jindřich - Číp, Ondřej - Vychodil, M. - Sedlář, P. - Provazník, M.
Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii.
[Advanced interferometry systems for dimensional measurement in nanometrology.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 60, č. 1 (2015), s. 14-17. ISSN 0447-6441
Grant CEP: GA ČR GB14-36681G; GA TA ČR TA02010711; GA TA ČR TA01010995; GA TA ČR TE01020233; GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT ED0017/01/01
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: interferometry systems * dimensional measurement * nanometrology
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0253412
Lazar, Josef - Holá, Miroslava - Hrabina, Jan - Oulehla, Jindřich - Číp, Ondřej - Vychodil, M. - Sedlář, P. - Provazník, M.
Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii.
[Advanced interferometry systems for dimensional measurement in nanometrology.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 60, č. 1 (2015), s. 14-17. ISSN 0447-6441
Grant CEP: GA ČR GB14-36681G; GA TA ČR TA02010711; GA TA ČR TA01010995; GA TA ČR TE01020233; GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT ED0017/01/01
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: interferometry systems * dimensional measurement * nanometrology
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0253412