0532029 - ÚPT 2021 RIV JO eng J - Článek v odborném periodiku
Knápek, Alexandr - Drozd, Michal - Matějka, Milan - Chlumská, Jana - Král, Stanislav - Kolařík, Vladimír
Automated System for Optical Inspection of Defects in Resist-coated Non-patterned Wafer.
Jordan Journal of Physics. Roč. 13, č. 2 (2020), s. 93-100. ISSN 1994-7607. E-ISSN 1994-7615
Grant CEP: GA MPO FV10618
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: optical inspection * resist layer * non-patterned wafer * quality control
Obor OECD: Automation and control systems
Způsob publikování: Open access
Web výsledku:
http://journals.yu.edu.jo/jjp/JJPIssues/Vol13No2pdf2020/1.html
DOI: https://doi.org/10.47011/13.2.1
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0310631