Vytisknout
0023616 - FZÚ 2006 RIV CH eng J - Článek v odborném periodiku
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Adámek, P. - Virostko, Petr - Olejníček, Jiří - Deyneka, Alexander - Jastrabík, Lubomír - Jurek, Karel - Suchaneck, G. - Guenther, M. - Gerlach, G. - Boháč, Petr
Investigation of the RF pulse modulated plasma jet system during the deposition of Pb(ZrxTi1-x)O3 thin films on polymer substrates.
[Studium RF pulzně modulovaného plasma jet systému během depozice tenkých vrstev Pb(ZrxTi1-x)O3 na polymerní substráty.]
Surface and Coatings Technology. Roč. 200, - (2005), s. 940-946. ISSN 0257-8972
Grant CEP: GA AV ČR(CZ) KJB1010302
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
Klíčová slova: : PZT thin films * plasma jet * Langmuir probe * plasma impedance
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Impakt faktor: 1.646, rok: 2005
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0112233
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Adámek, P. - Virostko, Petr - Olejníček, Jiří - Deyneka, Alexander - Jastrabík, Lubomír - Jurek, Karel - Suchaneck, G. - Guenther, M. - Gerlach, G. - Boháč, Petr
Investigation of the RF pulse modulated plasma jet system during the deposition of Pb(ZrxTi1-x)O3 thin films on polymer substrates.
[Studium RF pulzně modulovaného plasma jet systému během depozice tenkých vrstev Pb(ZrxTi1-x)O3 na polymerní substráty.]
Surface and Coatings Technology. Roč. 200, - (2005), s. 940-946. ISSN 0257-8972
Grant CEP: GA AV ČR(CZ) KJB1010302
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
Klíčová slova: : PZT thin films * plasma jet * Langmuir probe * plasma impedance
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Impakt faktor: 1.646, rok: 2005
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0112233