Košík

0580734 - FZÚ 2024 RIV cze P - Patentový dokument
Vyskočil, J. - Mareš, P. - Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Tvarog, Drahoslav
Způsob vytváření pulzního magnetronového výboje společně s obloukovým odpařováním.
[A method of creating a pulsed magnetron discharge together with arc evaporation.]
2023. Vlastník: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.,HVM Plasma spol. s r.o. Datum udělení patentu: 29.03.2023. Číslo patentu: 309606. Teritoriální ochrana: národní patent v členském státě EU .
Grant CEP: GA MPO FV30177
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: planar magnetron * arc evaporation * pulsed discharge
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
https://isdv.upv.gov.cz/doc/FullFiles/Patents/FullDocuments/309/309606.pdf
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0349492