Košík

0580457 - ÚPT 2024 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Mikel, Břetislav
SMV-2023-61: Odměřovací systémy pro litografy.
[SMV-2023-61: Measuring systems for lithographers.]
Brno: Raith GmbH, 2023. 3 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: laser source * measurement of lenght * laser interferometry
Obor OECD: Electrical and electronic engineering
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0349225