Košík

0573076 - FZÚ 2024 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Hippler, Rainer - Čada, Martin - Mutzke, A. - Hubička, Zdeněk
Pulse length dependence of a reactive high power impulse magnetron (HiPIMS) discharge.
Plasma Sources Science & Technology. Roč. 32, č. 5 (2023), č. článku 055013. ISSN 0963-0252. E-ISSN 1361-6595
Grant CEP: GA MŠMT(CZ) EF16_019/0000760; GA ČR(CZ) GA21-04477S
Grant ostatní: OP VVV - SOLID21(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: high power impulse magnetron sputtering * reactive mode * pulse length dependence * ion composition * optical emission spectroscopy
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Impakt faktor: 3.8, rok: 2022
Způsob publikování: Open access
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0346388