Košík

0538978 - FZÚ 2021 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Hofmann, S. - Lejček, Pavel - Zhou, G. - Yang, H. - Lian, S.Y. - Kovač, J. - Wang, J.Y.
Explanation of the apparent depth resolution improvement by SIMS using cluster ion detection.
Journal of Vacuum Science and Technology. Part B. Nanotechnology & Microelectronics. Roč. 38, č. 3 (2020), s. 1-7, č. článku 034010. ISSN 2166-2746. E-ISSN 2166-2754
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: SIMS * depth resolution * secondary clusters * MRI model
Obor OECD: Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Impakt faktor: 1.416, rok: 2020
Způsob publikování: Omezený přístup
https://doi.org/10.1116/6.0000108
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0316709