Košík

0518469 - ÚPT 2020 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Fořt, Tomáš
SMV-2019-16: Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého EUV systému.
[SMV-2019-16: Deposition technology and implementation of EUV multilayer system.]
Brno: Ústav fyziky plazmatu AV ČR, v. v. i., 2019. 3 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: EUV mirror * X-ray mirror * Extreme Ultraviolet mirror
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0303601