Košík

0512017 - ÚPT 2020 CZ eng A - Abstrakt
Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Řiháček, Tomáš - Knápek, Alexandr - Kolařík, Vladimír
Functional nano–structuring of thin silicon nitride membranes.
5th IMAPS Flash Conference. Book of Abstracts. Brno: University of Technology, 2019. s. 74-75.
[International Microelectronics Assembly and Packaging Society Flash Conference /5./. IMAPS. 24.10.2019-25.10.2019, Brno]
Institucionální podpora: RVO:68081731
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0302234