Košík

0483497 - ÚPT 2018 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
SMV-2017-27: Charakterizace vzorků s deponovanými tenkými vrstvami.
[SMV-2017-27: Characterization of samples with thin layers.]
Brno: IQ Structures, 2017. 8 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: thin layers * microstructures * optics * e-beam lithography
Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0278778