Košík

0481768 - ÚPT 2018 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
Maňka, Tadeáš - Šerý, Mojmír - Lazar, Josef - Číp, Ondřej - Krátký, Stanislav - Zemánek, Pavel
Laserový systém pro odměřování reliéfu MIEMS vytvářeného metodou hlubokého reaktivního leptání.
[Laser system for determination of the depth of etching in a deep reactive ion etching system.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 62, č. 10 (2017), s. 270-272. ISSN 0447-6441
Grant CEP: GA MŠMT(CZ) LO1212
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: laser interferometry * reactive ion etching * micro electro-mechanical system
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0277304