Košík

0439067 - ÚPT 2017 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Matějka, Milan - Horáček, Miroslav - Meluzín, Petr - Chlumská, Jana - Král, Stanislav - Kolařík, Vladimír - Urbánek, Michal - Krátký, Stanislav
SMV-2014-28: Vývoj testovacích preparátů pro REM.
[SMV-2014-28: Development of test specimens for SEM.]
Brno: Tescan Brno s.r.o, 2014. 6 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: relief structure * e-beam lithography * silicon etching * microlithography
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0242373