Košík

0434105 - ÚPT 2015 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Horáček, Miroslav - Bok, Jan - Kolařík, Vladimír - Urbánek, Michal - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav
Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers.
18th International Microscopy Congres. Proceedings. Praha: Czechoslovak Microscopy Society, 2014. ISBN 978-80-260-6720-7.
[International Microscopy Congres /18./. Praha (CZ), 07.09.2014-12.09.2014]
Grant CEP: GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT ED0017/01/01; GA TA ČR TE01020118
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: e-beam writer * current density
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0238240