Košík

0426279 - ÚPT 2014 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Sobota, Jaroslav
SMV-2013-29: Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého systému.
[SMV-2013-29: Deposition technology and implementation of multilayer system.]
Brno: Ústav fyziky plazmatu AV ČR, v. v. i, 2013. 3 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: EUV mirror * sputtering * molybdenum * silicon
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0232026