Košík

0426267 - ÚPT 2017 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Matějka, Milan - Kolařík, Vladimír - Urbánek, Michal - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Horáček, Miroslav - Král, Stanislav
SMV-2012-12: Testovací preparát pro SEM.
[SMV-2012-12: Testing specimens for SEM.]
Brno: TESCAN ORSAY HOLDING, a.s, 2012. 5 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: dimensional standard * e-beam lithography * e-beam microscopy * anisotropic Silicon etching
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0232003