Košík

0426229 - ÚPT 2014 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Urbánek, Michal - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Horáček, Miroslav - Král, Stanislav
SMV-2012-01: Testovací preparát pro SEM.
[Testing specimens for SEM.]
Brno: FEI Czech Republic s.r.o, 2012. 5 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: dimensional standard * e-beam lithography * e-beam microscopy * anisotropic Silicon etching
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0231968