Košík

0390983 - ÚPT 2013 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Kolařík, Vladimír - Horáček, Miroslav - Matějka, František - Matějka, Milan - Urbánek, Michal - Krátký, Stanislav - Král, Stanislav - Bok, Jan
E-beam pattern generator BS600 and technology zoom.
NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava: TANGER Ltd, 2012, s. 822-825. ISBN 978-80-87294-32-1.
[NANOCON 2012. International Conference /4./. Brno (CZ), 23.10.2012-25.10.2012]
Grant CEP: GA MŠMT ED0017/01/01; GA MPO FR-TI1/576
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: E-beam pattern generator * E-beam lithography * reduced size shaped beam
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0219948