Košík

0390977 - ÚPT 2013 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Urbánek, Michal - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Matějka, František - Bok, Jan - Mikšík, P. - Vašina, J.
Shaped E-beam nanopatterning with proximity effect correction.
NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava: TANGER Ltd, 2012, s. 717-722. ISBN 978-80-87294-32-1.
[NANOCON 2012. International Conference /4./. Brno (CZ), 23.10.2012-25.10.2012]
Grant CEP: GA MPO FR-TI1/576; GA MŠMT ED0017/01/01; GA TA ČR TE01020233
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: e-beam writer * shaped beam * proximity effect correction
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0219844