Košík

0390975 - ÚPT 2013 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Bok, Jan - Horáček, Miroslav - Král, Stanislav - Kolařík, Vladimír - Matějka, František
Analysis of electron current instability in E-beam writer.
NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava: TANGER Ltd, 2012, s. 295-299. ISBN 978-80-87294-32-1.
[NANOCON 2012. International Conference /4./. Brno (CZ), 23.10.2012-25.10.2012]
Grant CEP: GA MŠMT ED0017/01/01; GA TA ČR TE01020118; GA MPO FR-TI1/576
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: electron beam * current measurement * current drift and noise * fourier analysis
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0219831