Košík

0386391 - ÚPT 2013 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Kolařík, Vladimír - Matějka, František - Matějka, Milan - Horáček, Miroslav - Urbánek, Michal - Bok, Jan - Krátký, Stanislav - Král, Stanislav - Mika, Filip
What is the buzz about the TZ mode.
Proceedings of the 13th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2012 - (Mika, F.), s. 37-38. ISBN 978-80-87441-07-7.
[International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /13./. Skalský dvůr (CZ), 25.06.2012-29.06.2012]
Grant CEP: GA ČR GA102/05/2325; GA MŠMT ED0017/01/01
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: e-beam lithography * variable shaped electron beam
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0215691