Košík

0359621 - FZÚ 2012 CZ eng A - Abstrakt
Neykova, Neda - Kromka, Alexander - Ledinský, Martin - Kozak, Halyna - Vaněček, Milan
Novel plasma treatment in linear antenna microwave PECVD system.
13th Joint Vacuum Conference - Programme and book of abstract. Brno: Tribun EU s.r.o., 2010 - (Vesely, M.; Vincze, A.; Vavra, I.). s. 51. ISBN 978-80-7399-969-8.
[Joint Vacuum Conference /13./. 20.06.2010-24.06.2010, Strbske Pleso]
Grant CEP: GA AV ČR KAN400100701; GA AV ČR(CZ) IAAX00100902; GA MŠMT LC510
Grant ostatní: AVČR(CZ) M100100905
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100521
Klíčová slova: diamond * low temperature plasma treatment * SU-8
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0197373