Košík

0205322 - UPT-D 20000101 RIV CZ eng J - Článek v odborném periodiku
Hutař, Otakar - Oral, Martin - Müllerová, Ilona - Romanovský, Vladimír
Application of low-energy backscattered electron detection in the inspection of semiconductor devices technology.
Jemná mechanika a optika. Roč. 45, č. 10 (2000), s. 271-272. ISSN 0447-6441
Grant CEP: GA AV ČR IBS2065017
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z2065902
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0100937