Košík

0094701 - ÚPT 2008 RIV CZ cze Z - Poloprovoz, ověřená technologie, odrůda/plemeno
Horáček, Miroslav - Matějka, František - Kolařík, Vladimír
Modernizovaný elektronový litograf pro optické difraktivní struktury.
[Electron-beam writing system for diffractive optical elements.]
Interní kód: 65701 ; 2006
Technické parametry: Urychlovací napětí elektronové trysky 15 kV.
Ekonomické parametry: Elektronový litograf BS601M byl nainstalován ve firmě Optaglio v červenci roku 2006 kde nahradil obdobné zastaralé zařízení s horšími parametry.
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: electron beam writing system * diffractive optical element
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0154449