Košík

0092589 - ÚPT 2008 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Matějka, František - Horáček, Miroslav - Lencová, Bohumila - Kolařík, Vladimír
Reducing the Size of a Rectangular-Shaped Electron Beam in E-Beam Writing System.
[Zmenšení rozměru pravoúhlého elektronového svazku v elektronovém litografu.]
Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy. Prague: Czechoslovak Microscopy Society, 2007 - (Nebesářová, J.; Hozák, P.), s. 87-88. ISBN 978-80-239-9397-4.
[Multinational Congress on Microscopy /8./. Prague (CZ), 17.06.2007-21.06.2007]
Grant CEP: GA ČR GA102/05/2325
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: rectangular-shaped electron beam * e-beam writing system.
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0152867