Košík

0050991 - ÚPT 2007 cze K - Konferenční příspěvek (tuzemská konf.)
Mika, Filip
Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů.
[Quantitative 2D dopant profiling in semiconductor by the secondary electron emission.]
PDS 2006 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronová optika. Brno: ÚPT AV ČR, 2006, s. 33-36. ISBN 80-239-7957-4.
[PDS 2006. Brno (CZ), 19.12.2006]
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: semiconductor structure * doping density * contrast
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0140993