0047349 - ÚPT 2006 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Müllerová, Ilona - Frank, Luděk
Metoda měření detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu.
[Method for quantification of the detection efficiency of secondary electron detectors in the scanning electron microscope.]
Interní kód: DETEFF ; 2005
Technické parametry: Metoda objektivního hodnocení a postup měření kvantové detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu ve statickém režimu stabilního signálu a procedura vyhodnocení časové odezvy detektoru na signálový skok.
Ekonomické parametry: Metoda umožňuje objektivní srovnání různých konfigurací detektorů a rovněž vyhodnocování efektu konstrukčních změn a inovací.
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: electron detectors * scanning electron microscope * detective quantum efficiency * secondary electrons
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0138282