Košík

0022564 - ÚPT 2006 CZ cze K - Konferenční příspěvek (tuzemská konf.)
Mika, Filip
Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů.
[Quantitative 2D dopant profiling in semiconductor by the secondary electron emission.]
PDS 2004 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky. Brno: ÚPT AV ČR, 2005, s. 37-42. ISBN 80-239-4561-0.
[PDS 2004. Brno (CZ), 15.03.2005]
Grant CEP: GA AV ČR(CZ) KJB2065301
Klíčová slova: dopant * semiconductor * se contrast
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0111292