0603526 - ÚPT 2025 CZ cze V - Výzkumná zpráva
Mikel, Břetislav
SMV-2024-69: Měřící systémy pro litografy.
[SMV-2024-69: Measuring systems for lithographers.]
Brno: Raith GmbH, 2024. 3 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: laser source * measurement of length * laser interferometry
Obor OECD: Electrical and electronic engineering
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0360862