Košík

0570231 - FZÚ 2024 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Lambert, Nicolas - Sung, Kil-dong - Mortet, Vincent
Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response.
Physica Status Solidi A. Roč. 220, č. 4 (2023), č. článku 2200322. ISSN 1862-6300. E-ISSN 1862-6319
Grant CEP: GA MŠMT(CZ) EF16_019/0000760; GA ČR(CZ) GA21-03538S
Grant ostatní: OP VVV - SOLID21(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: diamond growth * dynamic gas response * microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition (MWPECVD) * optical emission spectroscopy (OES)
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Impakt faktor: 2, rok: 2022
Způsob publikování: Omezený přístup
https://doi.org/10.1002/pssa.202200322
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0349378