Košík

0567078 - FZÚ 2024 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Kapran, Anna - Antunes, V.G. - Hubička, Zdeněk - Ballage, C. - Minea, T.
Investigation of the magnetron balancing effect on the ionized flux fraction and deposition rate of sputtered titanium species for the high-power impulse magnetron sputtering pulses of different lengths.
Journal of Vacuum Science & Technology A : Vacuum, Surfaces and Films. Roč. 41, č. 1 (2023), č. článku 013003. ISSN 0734-2101. E-ISSN 1520-8559
Grant CEP: GA ČR(CZ) GA21-04477S; GA MŠMT(CZ) EF16_019/0000760
Grant ostatní: OP VVV - SOLID21(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: HiPIMS * magnetron * ionized flux fraction * unbalanced magnetic field
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Impakt faktor: 2.9, rok: 2022
Způsob publikování: Omezený přístup
https://doi.org/10.1116/6.0002309
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0342037