Košík

0439381 - FZÚ 2015 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Straňák, V. - Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Drache, S. - Tichý, M. - Hippler, R.
Investigation of ionized metal flux in enhanced high power impulse magnetron sputtering discharges.
Journal of Applied Physics. Roč. 115, č. 15 (2014), "153301-1"-"153301-7". ISSN 0021-8979. E-ISSN 1089-7550
Grant CEP: GA MŠMT LH12043
Grant ostatní: AV ČR(CZ) M100101215
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: electron-impact ionization * physical vapor-deposition * cross-sections * plasma parameters * rate coefficients * low-pressure * energy * atoms * films * ions
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Impakt faktor: 2.183, rok: 2014
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0242671