Košík

0431959 - ÚPT 2015 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Hrabina, Jan - Lazar, Josef - Klapetek, P. - Valtr, M. - Číp, Ondřej - Oulehla, Jindřich - Čížek, Martin - Holá, Miroslava - Šerý, Mojmír
6-axis interferometric coordinates measurement system for nanometrology.
Photonic Instrumentation Engineering (Proceedings of Spie 8992). Bellingham: SPIE, 2014, 89920W:1-8. ISSN 0277-786X.
[Photonic Instrumentation Engineering. San Francisco (US), 02.02.2014-05.02.2014]
Grant CEP: GA ČR GPP102/11/P820; GA MŠMT ED0017/01/01; GA MŠMT EE2.4.31.0016; GA TA ČR TA02010711; GA TA ČR TE01020233; GA MŠMT(CZ) LO1212
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: nanometrology * AFM * nanoscale * nanopositioning interferometry
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0236468